真空回流炉，也叫真空焊接炉。便于实验所需要。同时将产品和焊料表面的氧化物反应，测量系统： 气路：N2有三路：一路通到工艺腔体；一路作为气冷通入冷却管（和水冷一个管道）；一路通到真空泵gas ballast，腔体压力过大时会自动打开。真空系统、 加热系统：包括主加热和边缘加热。作为提高真空泵压缩比的功能。设备腔体内部还有6组用于测量工件温度的TC。甲酸、